单相VO<sub>2</sub>薄膜的制备及显微组织分析

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单相VO₂薄膜的制备及显微组织分析

乔威, 李智东, 赵昆渝, 李林德, 孟召标

文章导航 > 钢铁钒钛 > 2007 > 28(2): 53-56

乔威, 李智东, 赵昆渝, 李林德, 孟召标. 单相VO2薄膜的制备及显微组织分析[J]. 钢铁钒钛, 2007, 28(2): 53-56.

引用本文:

乔威, 李智东, 赵昆渝, 李林德, 孟召标. 单相VO₂薄膜的制备及显微组织分析[J]. 钢铁钒钛, 2007, 28(2): 53-56.

Qiao Wei, Li Zhidong, Zhao Kunyu, Li Linde, Meng Zhaobiao. Preparing Monophase VO2 Thin Film and Examining Its Microstructure[J]. IRON STEEL VANADIUM TITANIUM, 2007, 28(2): 53-56.

Citation:

Qiao Wei, Li Zhidong, Zhao Kunyu, Li Linde, Meng Zhaobiao. Preparing Monophase VO₂ Thin Film and Examining Its Microstructure[J]. IRON STEEL VANADIUM TITANIUM, 2007, 28(2): 53-56.

乔威, 李智东, 赵昆渝, 李林德, 孟召标. 单相VO2薄膜的制备及显微组织分析[J]. 钢铁钒钛, 2007, 28(2): 53-56.

引用本文:

乔威, 李智东, 赵昆渝, 李林德, 孟召标. 单相VO₂薄膜的制备及显微组织分析[J]. 钢铁钒钛, 2007, 28(2): 53-56.

Qiao Wei, Li Zhidong, Zhao Kunyu, Li Linde, Meng Zhaobiao. Preparing Monophase VO2 Thin Film and Examining Its Microstructure[J]. IRON STEEL VANADIUM TITANIUM, 2007, 28(2): 53-56.

Citation:

Qiao Wei, Li Zhidong, Zhao Kunyu, Li Linde, Meng Zhaobiao. Preparing Monophase VO₂ Thin Film and Examining Its Microstructure[J]. IRON STEEL VANADIUM TITANIUM, 2007, 28(2): 53-56.

单相VO₂薄膜的制备及显微组织分析

昆明理工大学材料与冶金工程学院, 云南昆明 650093

作者简介:
乔威(1981-),男,陕西铜川人,在读硕士研究生,主要从事热敏薄膜材料的制备及性能研究

中图分类号: TB34.0614.51⁺1
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出版历程
- 收稿日期: 2006-11-15

Preparing Monophase VO₂ Thin Film and Examining Its Microstructure

Kunming University of Science and Technology, Kunming 650093, Yunnan, China

摘要: 以V₂O₄粉末为原料,采用无机溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备了V₂O₅干凝胶膜。通过两种退火工艺成功制备出了单相VO₂薄膜,并对其物相和显微组织进行了分析。
- VO₂ /
- 薄膜 /
- V₂O₄ /
- 无机溶胶-凝胶法
Abstract: The VO₂ thin film was made form V₂O₅ dry gelatin film by two-step annealing practice.The V₂O₅ gelatin film was prepared by inorganic sol-gel method from V₂O₄ powder and was dried in first annealing operation,then,the dry V₂O₅ film was annealed in vacuum quartz pipe at 450℃ and 480℃ respectively,so the VO₂ thin film was obtained.The microstructure of VO₂ thin film was examined by XRD and photomicrography.The results show the VO₂ thin film is monophase and annealing temperature has marked influence on the microstructure.
- VO₂ /
- thin film /
- V₂O₄ /
- inorganic sol-gel method

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