电子束气相沉积的研究进展

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电子束气相沉积的研究进展

赖奇, 李俊翰, 吴恩辉, 崔晏, 李亮, 廖先杰

文章导航 > 钢铁钒钛 > 2020 > 41(4): 76-81

赖奇, 李俊翰, 吴恩辉, 崔晏, 李亮, 廖先杰. 电子束气相沉积的研究进展[J]. 钢铁钒钛, 2020, 41(4): 76-81. doi: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.04.014

引用本文:

赖奇, 李俊翰, 吴恩辉, 崔晏, 李亮, 廖先杰. 电子束气相沉积的研究进展[J]. 钢铁钒钛, 2020, 41(4): 76-81. doi: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.04.014

Lai Qi, Li Junhan, Wu Enhui, Cui Yan, Li Liang, Liao Xianjie. Research Progress of Electron Beam Vapor Deposition[J]. IRON STEEL VANADIUM TITANIUM, 2020, 41(4): 76-81. doi: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.04.014

Citation:

Lai Qi, Li Junhan, Wu Enhui, Cui Yan, Li Liang, Liao Xianjie. Research Progress of Electron Beam Vapor Deposition[J]. IRON STEEL VANADIUM TITANIUM, 2020, 41(4): 76-81. doi: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.04.014

赖奇, 李俊翰, 吴恩辉, 崔晏, 李亮, 廖先杰. 电子束气相沉积的研究进展[J]. 钢铁钒钛, 2020, 41(4): 76-81. doi: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.04.014

引用本文:

赖奇, 李俊翰, 吴恩辉, 崔晏, 李亮, 廖先杰. 电子束气相沉积的研究进展[J]. 钢铁钒钛, 2020, 41(4): 76-81. doi: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.04.014

Lai Qi, Li Junhan, Wu Enhui, Cui Yan, Li Liang, Liao Xianjie. Research Progress of Electron Beam Vapor Deposition[J]. IRON STEEL VANADIUM TITANIUM, 2020, 41(4): 76-81. doi: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.04.014

Citation:

Lai Qi, Li Junhan, Wu Enhui, Cui Yan, Li Liang, Liao Xianjie. Research Progress of Electron Beam Vapor Deposition[J]. IRON STEEL VANADIUM TITANIUM, 2020, 41(4): 76-81. doi: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.04.014

电子束气相沉积的研究进展

doi: 10.7513/j.issn.1004-7638.2020.04.014

攀枝花学院钒钛学院, 四川攀枝花 617000

基金项目:

四川省科技厅项目(2018FZ0090)；攀枝花市科技计划项目(2018CY-G-6)；攀枝花市科技计划项目(2017CY-G-12)

作者简介:
赖奇(1976-),男,四川攀枝花人,博士,教授,硕士生导师。研究方向为材料物理与化学,E-mail:pzhlaiqi@163.com

中图分类号: TB33,TG174.44
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出版历程
- 收稿日期: 2020-03-24

Research Progress of Electron Beam Vapor Deposition

College of Vanadium and Titanium, Panzhihua University, Panzhihua 617000, Sichuan, China

摘要: 介绍了电子束真空气相沉积(EBPVD)镀膜技术的优点、国内外发展现状,并对其关键技术:材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制等方面进行了分析。简要论述了其硬件条件,以便为钢钛复合材料的制备提供解决思路。
- 电子束气相沉积 /
- 镀膜 /
- 真空
Abstract: This paper introduces the control of deposition,composition and structure of materials in the process of high-speed electron beam evaporation under the control of vacuum and technological parameters.The hardware conditions are briefly discussed in order to provide an understanding way for the preparation of steel titanium composites.
- electron beam vapor deposition /
- vacuum /
- coating

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